还要保证翘曲度、氧含量、金属残余量等等指标,所以要经过电镜检查、光学散射等各种检测,达标后一张平平无奇的硅片才终于诞生了!
最后,做好的硅片被放进充满氮气的密封盒子里送往晶圆厂开始下一段旅程。
以上就是用单晶硅棒加工晶圆级硅片的过程。
我讲清楚了吗?
还要保证翘曲度、氧含量、金属残余量等等指标,所以要经过电镜检查、光学散射等各种检测,达标后一张平平无奇的硅片才终于诞生了!
最后,做好的硅片被放进充满氮气的密封盒子里送往晶圆厂开始下一段旅程。
以上就是用单晶硅棒加工晶圆级硅片的过程。
我讲清楚了吗?